隨著科學技術的發展，粉末冶金過程和金屬材料熱處理中廣泛使用真空爐。真空爐的種類很多：

(1)按用途可分(fen)為(wei)真(zhen)(zhen)空(kong)碳化(hua)爐(lu)(lu)、真(zhen)(zhen)空(kong)燒結爐(lu)(lu)、真(zhen)(zhen)空(kong)退火(huo)(huo)爐(lu)(lu)、真(zhen)(zhen)空(kong)淬火(huo)(huo)爐(lu)(lu)、真(zhen)(zhen)空(kong)回火(huo)(huo)爐(lu)(lu)以及真(zhen)(zhen)空(kong)滲碳爐(lu)(lu)等。

(2)按熱(re)源可分為電阻加(jia)熱(re)真(zhen)空(kong)(kong)爐(lu)(lu)、感(gan)應(ying)加(jia)熱(re)真(zhen)空(kong)(kong)爐(lu)(lu)、電弧加(jia)熱(re)真(zhen)空(kong)(kong)爐(lu)(lu)、等離子(zi)弧加(jia)熱(re)真(zhen)空(kong)(kong)爐(lu)(lu)和電子(zi)束加(jia)熱(re)真(zhen)空(kong)(kong)爐(lu)(lu)。

(3)按(an)真(zhen)空度可分為(wei)低(di)真(zhen)空爐(lu)、高真(zhen)空爐(lu)和超真(zhen)空爐(lu)。

(4)按工作溫度可分(fen)為低溫真空爐(lu)(低于700℃)、中(zhong)溫真空爐(lu)(700?1000℃)和高溫真空爐(1000℃以上)。

(5)按作業性質可分為(wei)周(zhou)期式真空(kong)爐和連(lian)續式真空(kong)爐。

(6)按爐(lu)子(zi)的形式(shi)可(ke)分為豎式(shi)真空(kong)爐(lu)和臥式(shi)真空(kong)爐(lu)。

從真空爐的結構和加熱方式的角度上可以歸納為兩大類：一類是外熱式真空爐，另一類是內熱式真空爐，兩者均以真空電阻爐為主。外熱式真空爐通常稱為熱壁爐，也稱為馬弗爐。這種爐子的加熱部分與隔熱部分，即電熱元件和隔熱層設置在真空室外面，工件放在真空室的內部，工件依靠間接加熱。真空退火爐往往是外熱式真空熱處理爐。內熱式真空爐通常稱為冷壁爐。這種爐子的電熱元件和隔熱層構成的加熱室，全部放在水冷夾層結構的真空爐殼內。內熱式真空爐與外熱式真空爐相比，構造復雜，但使用溫度高、熱效率高、生產率也高，可以實現快速加熱和快速冷卻。因此，內熱式真空爐得到了迅速發展，已成為真空燒結和真空退火、真空淬火、真空回火的主要用爐。